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英特尔爱尔兰Fab 34首台EUV光刻机交付 由ASML制造

2022-04-12 14:53:35来源:爱集微

英特尔在爱尔兰莱克斯利普的工厂 Fab 34 已经交付了其首台 EUV 光刻机,该设备由 ASML 制造,是 Intel 4 制程技术的关键一环,这也使得 Fab 34 成为欧洲最先进的芯片制造工厂。

据 eeNews 报道,第一台设备从英特尔位于俄勒冈州的技术开发工厂抵达爱尔兰,这意味着Fab 34 将成为工厂外第一个运行新 EUV 技术的工厂。

该设备由 10 万个部件、3000 根电缆、4 万个螺栓和超过 1 英里长的软管组成。英特尔花了 18 个月的设计和施工活动,为 Fab 34 大楼接收这台机器做准备。

该建筑围绕光刻机进行设计,后者跨越了工厂的四层,包含一个内置的起重机,延伸到 3 米高的天花板,还需要大约 700 个电力、机械、化学和气体供应的连接点。

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