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消息称佳能正在开发用于半导体3D技术的光刻机

2022-04-01 15:31:09来源:TechWeb

4 月 1 日消息,据日经中文网报道,佳能正在开发用于半导体 3D 技术的光刻机。佳能光刻机新品最早有望于 2023 年上半年上市。曝光面积扩大至现有产品的约 4 倍,可支持 AI 使用的大型半导体的生产。

3D 技术可以通过堆叠多个半导体芯片使其紧密连接来提高性能的方式。据介绍,在放置芯片的板状零部件上,以很高的密度形成以电气方式连接各个芯片的多层微细布线,佳能就正在开发用于形成这种布线的新型光刻机,在原基础上改进透镜和镜台等光学零部件,来提高曝光精度以及布线密度。据称,普通光刻机的分辨率为十几微米,但新产品还能支持 1 微米的线宽。

在尖端半导体领域,3D 技术可以通过堆叠多个芯片来提高半导体的性能。在这个领域,3D 半导体光刻机是十分重要的设备,而且我们企业在这一领域也有建树。

IT之家了解到,今年 2 月 7 日,上海微电子举行首台 2.5D / 3D 先进封装光刻机发运仪式,这标志着中国首台 2.5D / 3D 先进封装光刻机正式交付客户。

在 3 月 28 日的财报会上,华为郭平表示华为未来将投资三个重构,用堆叠、面积换性能,用不那么先进的工艺也可以让华为的产品有竞争力。“解决芯片问题是一个复杂的漫长过程,需要有耐心,未来我们的芯片方案可能采用多核结构,以提升芯片性能”。

关键词: 佳能 半导体 光刻机

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